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          流量單位中sccm是什么意思(流量單位中SCCM是什么)

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          1、SCCM是質(zhì)量流量單位,代表每分鐘的標(biāo)準(zhǔn)毫升數(shù),與常用的流量單位不同。

          2、常見的流量單位如升/秒表示單位時間內(nèi)流動的體積,而質(zhì)量流量表示單位時間內(nèi)氣體通過的摩爾數(shù)。

          3、該單元通常用于化學(xué)反應(yīng),如CVD等需要精確控制原子組成比例的場合。

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